| 是否进口：否 | 类型：电子显微镜 | 品牌：attolight |
| 型号：Allalin | 目镜放大倍数：** | 物镜放大倍数：** |
产品信息
Allalin是一种纳米分辨率光谱仪器，基于一种被称为定量阴极荧光的突破性技术，它将光学显微镜和扫描 电子显微镜（SEM）集成到一个系统中。Allalin允许“不折不扣”的大视场/快速扫描同时获得扫描电镜成像 与高光谱或全色CL图。该系统的构建是为了在不牺牲扫描电镜（SEM）性能的前提下获得的阴极荧光 性能：光学显微镜和扫描电镜的物镜被周密的整合在一起，使它们的焦平面相互匹配；光学显微镜以亚微 米精度加工，与传统的CL技术相比，具有高数值孔径（N.A.0.71）的消色差、高数值孔径（N.A.0.71）检 测，在大视场（300纳米）下具有优越的光子收集效率。因此，定量阴极荧光，其中与仪器相关的工件 可以从本质上排除作为光谱特征或对比度的原因，这使阴极荧光变的可用。
Allalin是为那些需要遵循严格的技术路径和快速获取光谱信息而设计的， 而这些信息是传统方法无法企及的。 在半导体故障分析、开发和研究中，Allalin的光谱测量能力为快速可靠的缺陷检测和 定位提供了解决方案。经过验证的数据类型包括位错密度、材料成分波 动、应变、掺杂剂类型和浓度的测量；以及其他的应用。 在科学研究中，Allalin能够创建纳米分辨率的光谱图，这使得它成为深入了解纳米尺 度材料物理特性的工具。 Allalin拥有一套功能选项：覆盖紫外-红外波长范围的各种探测器选择、SE检测 器、稳定的低温样品台和高灵敏度的EBIC（电子束感应电流）检测解决方案。
技术指标
电子光学系统 | – 肖特基热场发射电子枪 – 电子束能量 1keV–10keV – 电子束斑尺寸: 3nm @10kV – 工作距离 3mm – 高灵敏度SE检测器 – 可升级为皮秒脉冲激光电子枪（更多信息请 参阅Chronos信息） – 探针电流: 30pA to 300nA |
光学系统 | – 视场可达 300?m – 集成光收集系统: 由朗伯体发射的光子有30%离开显微镜(在整个视场中是恒定的) – 消色差反射物镜从180nm 到 1.6?m– 数值孔径: NA 0.71 (f/0.5) |
光检测 | – 色散光谱仪，带有两个成像出口(320毫米焦距)和一个3光栅转台(Attolight提供大量衍射光栅，以匹配您的应用)，电动入口和出口狭缝用于紫外可见光(200 nm–1100 nm)测的高速CCD摄像机， 速度>900光谱/秒 – 用于近红外(600 nm–1700 nm)检测的InGaAs摄像机速度>180光谱/秒 – 使用不同的探测器在200 nm–1700 nm范围内进行全色检测，速度>每像素50 ns |
电子束感应电流(EBIC) | – 低噪音EBIC电路板 – 电流测量极限100fA – 增益10^4到10^15V/A – 带宽 100kHz |
样品室与真空系统 | – 无油真空泵组系统：用于电子枪和电子柱的吸气剂离子泵和用于样品室的涡轮分子泵 – 一般换样时间：20 min – 真空门上配有电子馈通 |
纳米定位平台 | – 6自由度，可任意移动(与低温恒温器兼容） – 行程: 25mm (X,Y), 3mm (Z), 3° 倾斜(X,Y), 10° 旋转 (Z) – 步进: 1 nm – 整个行程范围内100 nm的重复性 – 坐标系统，便于定位和移动 |
低温恒温系统 | – 温度范围从 10K 到室温，温度精度0.1 K – 数字温度控制器 – 温度为10 K时，每小时漂移小于300nm |
系统控制和检测模块 | – 同时进行CL（高光谱或全光谱图谱）、SEM和EBIC检测 – 半自动操作模式 – 直观的基于触摸屏的图形用户界面（GUI），用于快速样品定位和移动以及实时数据显示，以检查测量状态 – 图像分辨率为4K，高光谱图谱的分辨率为512×512像素，电子束停留时间为每像素50 ns |
数据分析 | – Attolight提供了强大的分析和解决方案。更多信息请参考单独的Attomap手册。 – 工具配置和CL数据同时保存，以便于工具配置的再现 – 通过网络轻松访问受密码保护的测量数据 – 导出为开放数据格式，为用户选择的数据分析软件提供的灵活性 |
系统外形规格 | – 占地面积：1219 mm（长）× 1039 mm（宽） – 使用面积：2017 mm（长）× 2426 mm（宽） – 重量：~1110 kg |
应用示例
– 纳米半导体光学特性
– 晶体缺陷检测和定位（螺型位错、堆垛缺陷、掺杂物 等）
– 纳米级成分波动的测定
– 掺杂计量
– 失效分析
– 纳米光子学
